SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日(rì)，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳(shēnzhèn)）国际半导体(bàndǎotǐ)展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆(hàoguǎn)14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组 新品首发(shǒufā) 本次展会，广明源(yuán)将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验(shíyàn)模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，具备结构(jiégòu)精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点(tèdiǎn)，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外(zǐwài)黑科技 可高效(gāoxiào)分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等(děng)工艺提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面(zhuōmiàn)级准分子实验新体验 由于传统(chuántǒng)准分子(zhǔnfènzǐ)光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新(chuàngxīn)推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与(yǔ)成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面(biǎomiàn)改性(gǎixìng)等多领域研发需求。 封装(fēngzhuāng)工艺表面清洁处理 超(chāo)净化超微细清洗工艺验证 172nm 系列全线(quánxiàn)亮相共襄盛会 除新品发布外，广明源还将(jiāng)展出(zhǎnchū)多款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体(bàndǎotǐ)基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列(xìliè)光源 172nm准分子系列模组及(jí)设备 SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体制造(zhìzào)企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用，共同探讨(tàntǎo)合作(hézuò)机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳(shēnzhèn)）国际半导体展览会 时间：2025年6月4-6日(rì) 地点(dìdiǎn)：深圳国际会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多(duō)信息资讯(xìnxīzīxùn)，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实(héshí)或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）